高純氣體管道技術是供應系統的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送到燃氣店維持質量的關鍵技術。它包括系統的正確設計、配件和附件的選擇、施工安裝和試驗測試等。近年來,以大規模集成電路為代表的微電子產品對高純氣體的純度和雜質含量的要求越來越嚴格,對高純氣體的管道技術越來越受到關注和重視。
高純氣體管道的所有高純度、高清潔氣體都要通過管道輸送到儀器用點(POU),為了滿足儀器的質量要求,在出口指標一定的情況下,要更加注意管道系統的材料選擇和施工質量。根據燃氣或凈化設備的精度,管道系統的各種因素受到很大影響,因此管道的選擇須符合相關產業原則,并標明管道材料。